半導(dǎo)體電阻率測試儀是于各種半導(dǎo)體材料包括:片狀硅料、晶體、晶體等的電阻率測定的設(shè)備,測定范圍:0.01-199.99歐姆厘米，是生產(chǎn)廠家硅料分選測試的理想工具。
半導(dǎo)體電阻率測試儀采用通用的電流、電壓四端子測量法（兩個(gè)電流和電壓電極同時(shí)和樣品接觸），可以消除電極與導(dǎo)線導(dǎo)通電阻產(chǎn)生的誤差，克服了傳統(tǒng)的二端測量粉末電阻率儀器的弊病，可以真實(shí)地、準(zhǔn)確地測量出粉末樣品的電阻率，因此重復(fù)性好。半導(dǎo)體電阻率測試儀測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，進(jìn)行各種分析。
半導(dǎo)體電阻率測試儀技術(shù)參數(shù)：
電源：220V交流
可測晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV
電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點(diǎn)、極性、過載、自動(dòng)顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
測量精度：±0.1。
zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。
重?fù)綑z測誤差（JJG508-87進(jìn)行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境：溫度23±2℃，相對(duì)濕度≤65%
