高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

高溫電阻率測試系統 采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征

高溫雙電測四探針方阻測試儀

1.方塊電阻范圍：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.電阻率范圍：10^-6×10⁶cm

3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）

10. zui高溫度： 1200℃可調節；沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C

11、升溫速度：9999分鐘以內自由設定,一般10分鐘內即可升到900℃；功率：3kw.

12、爐膛材料：采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征。

13.測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據！

高溫雙電測四探針方阻測試儀使用說明

適用行業：

用于：企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.

操作步驟及流程

5.1.本機可以依據不同測試產品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明

5.1.1.在開機界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進入測量界面。如圖1

5.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側有4個藍色功能按鍵，當測材料電阻率時，請選擇 “材料”按鍵 ，進入材料測試主界面.  

5.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍色光標選擇相應的參數。如圖2，將移動到某一參數的位置，按下“設置”鍵，光標將變為深藍色。此時通過上下左右鍵和數字鍵可以對相應的參數進行設置，設置完畢后按“確定”鍵返回。

5.1.4.如圖3接線方式，把主機與夾具連接線，連接好并固定住，

5.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據標準進行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數據（為探針之間的間距），其他數據為樣品本身尺寸。

5.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數據穩定后讀數.

5.1.8. 按下“放大”鍵對應的按鍵可以對當前界面的測量數據進行放大

5.1.9. 待參數設置完畢，開始測量，把測試獲得的數據寫入試驗報告中

5.1.10.以下設置和功能屬于配置操作軟件機型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設置.

5.1.11.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據用戶使用的接口類型進行選擇。

測試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導率）3種顯示模式。

4.5.高溫四探針治具及樣品放置操作

4.5.1通過升降平臺降旋轉手柄將高溫四探針治具從高溫箱體升起至箱體外部，并通過旋轉手柄旁邊的鎖扣，固定住四探針高溫平臺；注意操作時，在鎖住平臺時，手不能松開旋轉手柄，鎖扣一定要鎖牢固，以防平臺快速下滑而損傷.

4.5.2.將準備好的試樣放置在測試平臺上，并分別旋轉四根探針固定旋鈕，至探針與樣品接觸即可，注意：探針與樣品接觸即可，不得接觸后在用力旋轉探針，可能會壓迫樣品或者損壞探針.

4.5.3.將固定好樣品的四探針平臺下降至高溫箱體中，松開鎖扣時，手握住旋轉手柄，慢慢旋轉至四探針平臺*與高溫箱體吻合即可，并使用螺絲固定住平臺板的四腳，注意：螺絲只需要相對固定即可，不需要大力鎖死，平臺本身有足夠的重量，故輕微鎖住平臺板.

4.5.4.在設定好的電阻率測試儀及高溫溫度后，在軟件設定所需要設定參數數據，即可.

4.5.5.PC軟件的操作說明與軟件配套在一起，在軟件安裝后可以在軟件包解壓后查看閱讀.